复享光学承担的上海市 2022 年度科学仪器领域项目获批立项

9 月 2 日，复享光学承担的上海市 2022 年度“科技创新行动计划”科学仪器领域项目《堆叠环栅晶体管（GAA-FET）制程量测拉曼光谱仪》获批立项。

面向先进制程，复享光学承担大型科学仪器研制项目

本次复享光学承担的项目，属于“科学仪器研制开发”专题项目。该项目基于共焦拉曼光谱，发展面向 GAA-FET 制程检测的拉曼光谱技术，探索在 GAA-FET 制备过程中多层纳米薄膜的厚度、应力、界面起伏、横向刻蚀和沟道载流子迁移率等关键参数的量测技术，形成一套具有重大产业应用前景的专业高端拉曼光谱设备。

通常来讲，大型科学仪器研发制造，要求承担单位具备坚实可靠的研发积累、制造工艺和应用经验。同时，大型科学仪器的研制还涉及多学科领域的大量基础研究，要求承担单位从技术原理出发，探索前沿科学，深入创新源头，才能形成原始技术突破，研制出创新型、突破型的高端科学仪器。

复享光学作为深度光谱技术创导者，始终回归光与物质的相互作用原理，十年专注光谱技术的研发与应用，在光谱模组产品的研制基础之上，先后向市场推出多款大型集成光谱系统，融合光学智能算法，解决了多项科研和先进制造中的复杂关键问题，是创新型光谱仪器的可靠的研制者。

在拉曼技术研发和应用领域，复享光学是国内较早研究拉曼技术的光学企业，已研发并向市场推出拉曼系列产品，涵盖拉曼检测模块和拉曼检测系统。尤其公司共焦光谱产品线中的 gora 系列显微共焦拉曼光谱系统，融合拉曼光谱技术与共焦技术，实现衍射极限下的空间分辨率，获取微观层面的物质成分和结构信息，是复享光学拉曼光谱技术的代表产品。复享光学共焦光谱产品线已申请数十项相关专利，获得上海市高新技术转化项目“显微共焦光谱系统”的认证，已服务于国内外众多高校和科研院所，获得良好的用户反馈。

立足行业尖端，复享光学建立先进制造装备世界品牌

科学仪器既是前沿科学研究的重要工具，也是集成电路等先进制造装备的重要组成部分。该项目面向集成电路下一代的 3nm 及以下制程，基于拉曼光谱技术，开发针对 GAA-FET 制备过程多层纳米薄膜的量测设备，以保障芯片的最终良率，具有重大产业应用前景。

 “一代制程，一代工艺，一代设备”，新一代 GAA-FET 制程即将打开新的全球技术格局，也将带来产业布局新的变化。随着制程不断推进，芯片制备过程中的量测工序大幅增加，精密量测技术对于良率控制的重要性已经不言而喻。其中，占据全部检测技术约 70%的光学量测，是集成电路量测的关键，面临着巨大的机遇和挑战。

为响应半导体集成电路产业需求，需要建立多层次的研发平台。为此，复享光学成立了对接产业需求的“上海微纳制程智能检测工程技术研究中心”，并与复旦大学共同建立了致力于研究微纳制造前沿共性关键技术的“光检测与光集成校企联合研究中心”。

当前正处于 GAA-FET 技术规范形成的前期，复享光学携两个中心，主动参与全球产业技术的交流和竞争，抓住国内产业发展创造的市场空间和国际技术新老迭代的窗口机遇，通过深入产业供应链和承担重大政府专项，致力于在 GAA-FET 微纳制程量测领域取得重大突破，推动集成电路国产设备的跨越式发展。

同时，复享光学将以此为契机发展智能光谱技术，以深度算法为驱动，持续精研拉曼光谱、显微光谱、相位光谱、角分辨光谱等分析技术，通过以科研应用为基础和出发点，以产业需求为目标和落脚点，形成具有自主知识产权的高端科学检测仪器系列产品，参与全球技术迭代，建立光学领域的先进制造世界品牌。